उद्योग:ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक्स और प्रिसिजन ऑप्टिक्स
आवेदन पत्र:वेफर-लेवल ऑप्टिक्स (डब्ल्यूएलओ), फ्रेस्नेल लेंस और डिफ्रेक्शन ग्रेटिंग मैन्युफैक्चरिंग
उपकरण:उच्च-एकरूपता यूवी एलईडी बाढ़ इलाज प्रणाली (365 एनएम तरंग दैर्ध्य)
एक उच्च तकनीक ऑप्टिकल घटक निर्माता वेफर-स्तरीय माइक्रो-लेंस निर्माण के एक्सपोज़र और सख्त चरण के दौरान उपज दर के साथ संघर्ष कर रहा था।
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विकिरण असंगति:पारंपरिक यूवी लैंप बड़ी सब्सट्रेट सतहों पर समान प्रकाश वितरण प्रदान करने में विफल रहे। हाशिये पर कम प्रकाश की तीव्रता के कारण अपूर्ण पोलीमराइज़ेशन और उच्च उत्पाद अस्वीकृति दर हुई।
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थर्मल विस्तार:फोटोलिथोग्राफी और इलाज की प्रक्रिया के दौरान अत्यधिक अवरक्त गर्मी ने नाजुक उप-माइक्रोन लेंस संरचनाओं को विकृत कर दिया।
पारंपरिक पारा बल्बों या वितरण विधियों के बजाय, हमने तैनात कियाउच्च-एकरूपता यूवी एलईडी बाढ़ इलाज प्रणालीसेमीकंडक्टर-ग्रेड ऑप्टिकल प्रोसेसिंग के लिए विशेष रूप से इंजीनियर किया गया:
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स्पिन-कोटेड रेज़िन एक्सपोज़र:सिस्टम एक फोटोमास्क के माध्यम से सीधे स्पिन-लेपित फोटोरेसिस्ट/यूवी राल परत पर पूर्ण-सतह बाढ़ एक्सपोजर प्रदान करता है।
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उन्नत ऑप्टिकल डिज़ाइन:कस्टम-इंजीनियर लेंस प्रकाश वितरण को अनुकूलित करते हैं, जिससे उद्योग में अग्रणी स्थिति उत्पन्न होती है±3% के भीतर विकिरण एकरूपतासंपूर्ण इलाज क्षेत्र में।
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सच्चा शीत प्रकाश स्रोत:एक सटीक पर संचालन365nm नैरो-बैंड स्पेक्ट्रम, सिस्टम अवरक्त विकिरण को समाप्त करता है, सूक्ष्म संरचनाओं को थर्मल विरूपण से बचाने के लिए सब्सट्रेट को परिवेश के कमरे के तापमान पर रखता है।
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दोषरहित उत्पाद संगति:एज-क्योरिंग कमियों के कारण अस्वीकृति दर में गिरावट आईशून्य, अल्ट्रा-यूनिफ़ॉर्म यूवी प्रकाश क्षेत्र के लिए धन्यवाद।
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उप-माइक्रोन संरचनात्मक अखंडता:थर्मल तनाव को खत्म करने से उच्च परिशुद्धता वाले फ्रेस्नेल लेंस के लिए सही आयामी स्थिरता सुनिश्चित हुई।
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उन्नत उत्पादन क्षमता:तत्काल यूवी एलईडी चालू/बंद क्षमताओं ने वार्म-अप समय को समाप्त कर दिया, जिससे उच्च-मात्रा अर्धचालक लाइनों के लिए थ्रूपुट अधिकतम हो गया।
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